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OMT-6RT明暗場半導體晶圓檢查顯微鏡
無限遠鉸鏈三通觀察頭
暗場觀察：將暗場照明拉桿拉到指定位置，即可使用暗場功能，可以觀察物體表面的各種劃痕、雜質點及其他細微缺陷。內置衰減片，減少明暗場切換時光線劇烈變換對眼睛的刺激。
簡易偏光觀察：將起偏鏡及檢偏鏡插板插入照明器的指定位置，即可進行簡易偏光觀察。檢偏鏡可分為固定式和 360°旋轉式兩種。
DIC 微分干涉觀察：在正交偏光的基礎上 , 插入 DIC 棱鏡，即可進行 DIC 微分干涉觀察。使用 DIC 技術 , 可以使樣品表面微小的高低差產生明顯的浮雕效果，極大的提高圖像的對比度。可匹配帶 DIC 功能的物鏡，使整個視場的干涉色一致，微分干涉效果非常出色 , 高倍物鏡 DIC 效果也較好。
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OMT-6RT明暗場量測金相顯微鏡
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光學系統 |
無限遠色差校正光學系統 |
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光學放大倍數 |
50倍-1000倍 |
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數碼放大倍數 |
120倍-2400倍（21.5寸顯示器） |
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工業相機 |
630萬1/1.8寸彩色索尼工業芯片（可選1200萬和2000萬像素） |
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觀察筒 |
30°傾斜，正像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調節：50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100：0或0:100 |
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目鏡 |
高眼點大視野平場目鏡SWH10X-H/23mm，視度可調（可選帶單刻度十字分劃板，） |
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物鏡 |
無限遠超長工作距高分辨率明暗場半復消色差金相物鏡5X |
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無限遠超長工作距高分辨率明暗場半復消色差金相物鏡10X |
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無限遠超長工作距高分辨率明暗場半復消色差金相物鏡20X |
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無限遠超長工作距高分辨率明暗場半復消色差金相物鏡50X |
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無限遠超長工作距高分辨率明暗場半復消色差金相物鏡100X |
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物鏡轉換器 |
明暗場6孔轉換器（帶DIC插槽） |
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OMT-6RT機架 上下光源 |
透、反射式機架，前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程33mm，微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置 . 內置100-240V寬電壓系統，5W 暖色LED透射光照明系統，上下光獨立可控 |
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OMT-6R機架 上光源 |
反射式機架，前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程 33mm，微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置。內置 100-240V 寬電壓系統，帶光亮度設定暗扭與復位按扭。 |
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載物臺 |
4”雙層機械移動平臺，行程105x 105mm，帶金屬平板平臺，右手位X、Y移動手輪，配平臺接口 |
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聚光鏡 |
搖出式消色差聚光鏡（N.A.0.9） |
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反射照明器 |
明暗場反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場光闌，中心可調 ；帶明暗場照明切換裝置；帶濾色片插槽，帶起偏鏡/檢偏鏡插槽 |
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燈室 |
10W可調LED燈室，透、反射通用，預定中心 |
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攝像接口 |
攝影攝像附件：0.5X，C型接口，可調焦（可選1X的） |
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偏光組件 |
起偏鏡插板，360°旋轉式檢偏鏡插板 |
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電腦 |
戴爾品牌OptiPlex 3050MT操作系統W7處理器芯片I5-7500，3.40GHZ內存8G，硬盤1TB， DVD光驅 23寸戴爾顯示器HDMI高清1920*1080 |
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測量軟件 |
測量軟件OMT-1.5D，拍照，錄像，測量，掃碼上傳，實時圖像拼接，景深融合 |
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標尺 |
高精度型測微尺，格值0.01mm |
